半導体工学
表示
![]() |
半導体工学(はんどうたいこうがく、英: semiconductor engineering)は、半導体素子の設計・製造、寿命などの性能評価、半導体を利用した計測などを取り扱う工学である。下記のように多様な技術が関係する。
設計
- 回路設計
- プロセス・デバイス構造の設計(シミュレーション)
- 製造用機器の設計
製造技術
- チョクラルスキー法
- ゾーンメルト法
- 拡散(熱拡散)・酸化(熱酸化)
- 蒸着
- スパッタリング
- スピンコート
- CVD(化学気相成長法)
- PVD(物理気相成長法)
- MBE(分子線エピタキシー法)
- エピタキシャル成長
- イオン注入
- フォトリソグラフィ(パターニング)
- エッチング
- FIB(focused ion beam)
- CMP(化学機械研磨)
- メタライズ(配線)
- 多層配線
- 製造時の欠陥検出
- ダイシング
- パッケージング(組立)
半導体の物性・特性の測定手段
半導体の示す様々な物性は、研究開発や製造時の特性評価などにも利用されるほか、多くは半導体の用途にも深く関係する。
- 電気伝導度
- ホール効果
- PN接合やショットキー接合の特性:
- 組成や不純物:EDX、EPMA、SIMS、ICP
- 構造:光学顕微鏡、XRD、RBS、ラマン効果、SEM、TEM、AFM、XRF、SPM、SCM
- バンド構造など:光電効果・光電子分光、逆光電子分光、DLTS、フォトルミネセンス
製品の性能評価
- 電気的特性
- DC特性
- AC特性
- 寿命
- 信頼性